辰芯微。

钟国栋也专门到了生产车间，穿着防尘服，进了车间看了半天。

虽然他不太懂硬件技术，但也知道这一次的问题有些大。

出了车间，就召开了会议研判。

黄小婷更是愁眉苦脸，像是霜打的茄子一样。

因为二手光刻机，是她牵头去买的，如今接二连三的出问题，还难以解决，成为了束缚辰芯微发展的绳子。

钟国栋是找阿斯麦买的197nm干式光刻机，因为是新设备，目前来说，也没有出啥问题。

“大伙说说，有什么解决办法？”

副总工孔连华先开口道，“目前出问题的，是二手光刻机的光源稳定性问题。这台设备运行时限有些长了，在实际运行中，其光源输出强度波动较大，导致曝光不均匀，严重影响光刻图案的精度和一致性，从而导致良品率大幅下降。”

“我们已经尝试对光源系统进行校准和调整，但效果并不理想。由于没有后续的维修服务，即便是找到问题所在，更换关键部件也可能面临供应链的问题。”

钟国栋轻轻敲击桌面，“这些零部件，就不能找到替代方案吗？”

许许多多进口机器，在华国出了问题，难不成都找进口零件？

有些牛人，甚至自己能手搓一个替代零件，凑合着用。

像是进口农机、进口汽车这一块，非常常见。

孔连华摇了摇头，解释道：“光刻机的零部件精度要求极高，特别是光源系统，一点点微小的误差都可能导致整个系统性能的大幅下降。虽然理论上我们可以尝试寻找替代零件或者进行手工修复，但实际操作起来风险极大，很可能会对设备造成不可逆的损害，甚至影响到整个生产线的运行。”

黄小婷在一旁补充道：“而且，这台二手光刻机我们改良了非接触式曝光系统之后，对光源稳定性的影响更大了。”

“我们不要一味强调问题和困难，解决办法呢，都有没有想法？”钟国栋头疼地道。

张成举手，“我有一个想法。”

“说。”

“目前出问题的部件，是光源激光器，是不是可以拿着这个找华国做光源的公司，看下他们能不能做出合格的替代品呢？”

“哪怕性能和寿命比不上，能用就行。”

钟国栋点点头，“这是一个办法，小婷，你知道华国哪些公司搞光源吗？”

“大竹激光，另外还有光华科技，他们在激光光源领域都有一定的研究和技术积累。”黄小婷补充道，“我们可以先联系这两家公司，看看他们是否有能力为我们提供替代的光源激光器，或者能否帮助我们进行现有激光器的维修和性能优化。”

光靠自己的这些研究人员，还是太不够精通。